双层辉光离子多元共渗中的源极变化
Change of source cathode by double glow plasma作者机构：北京科技大学材料科学与工程学院北京100083 太原理工大学表面工程研究所太原030024
出 版 物：《中国有色金属学报》 (The Chinese Journal of Nonferrous Metals)
年 卷 期：2002年第12卷第2期
页 面：327-330页
核心收录：
学科分类：080503[工学-材料加工工程] 08[工学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）]
基 金：国家"八六三"高科技资助项目 (715 0 0 80 0 5 0 )
摘 要：观察了双层辉光渗金属过程中源极溅射后的成分以及形貌 ,利用X射线衍射对源极溅射表面进行了相分析 ,并且用Thermo cale软件进行了相计算。结果表明 :在辉光溅射条件下源极的成分和形貌发生了较大的变化 ,溅射后源极表面主要析出相为 μ相和Laves相 ,用Thermo
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