Ag/Pb(Zr0.53Ti0.47)O3/YBa2Cu3O7-x三端器件构造和性能的研究

作     者：刘保亭,Ｙｕ．Ｋｉｓｌｉｎｓｋｉi,郝昭,陈莺飞,许波,陈红,吴非,赵柏儒 B.T.Liu;Yu.Kislinskii;Z.Hao;Y.F.Chen;B.Xu;H.Chen;F.Wu;B.R.Zhao

作者机构：中国科学院物理研究所国家超导实验室 

出 版 物：《低温物理学报》 (Low Temperature Physical Letters)

年 卷 期：1999年第21卷第1期

页      面：60-64页

核心收录：

学科分类：080705[工学-制冷及低温工程] 07[理学] 070205[理学-凝聚态物理] 08[工学] 0807[工学-动力工程及工程热物理] 0702[理学-物理学] 

主　　题：击穿电压 场效应器件 O3/YBa2Cu3O Ti Zr Ag/Pb 矫顽场 矫顽力 正常态 

摘      要：应用脉冲激光沉积法和光刻技术我们成功地制作Ａｇ／Ｐｂ（Ｚｒ０．５３Ｔｉ０．４７）Ｏ３／ＹＢａ２Ｃｕ３Ｏ７－ｘ（ＰＺＴ／ＹＢＣＯ）三端器件．为了降低矫顽场，应用变形相界（ｘ≈０．５３）的５５０纳米厚的ＰＺＴ作为门电极，通过优化沉积条件和门电极面积小型化（６×１０－６ｃｍ２），在６４Ｋ下三端器件门电极显示了极好的电性能，低的矫顽场（～３７ｋＶ／ｃｍ）、大的饱和极化强度（６０μＣ／ｃｍ２）、剩余极化强度（４１μＣ／ｃｍ２）以及击穿电压～３×１０５Ｖ／ｃｍ．对于我们的场效应器件，在±９Ｖ的情况下沟道电阻被调制～３％．