X射线衍射研究固体中的原子碰撞
作者机构：辽宁大学物理系
出 版 物：《原子与分子物理学报》 (Journal of Atomic and Molecular Physics)
年 卷 期：1990年第7卷第S1期
页 面：188-189页
核心收录：
主 题：原子碰撞 X射线衍射研究 实验曲线 自编程序 变函数 多层模型 退火温度 束合 氮化铝 Singh
摘 要：由于研制新材料、新器件的需要,使得固体中原子碰撞的研究成为当前很活跃的一个新领域。而XRD能给出固体中原子碰撞后的大量信息。因此很多人开展了这方面的研究工作。***等人(1)用XRD研究了离子束合成氮化铝膜。我们首先测量了A^+s打入硅片后的X衍射分布,然后模拟实验曲线。根据XRD的运动学理论,在我们给出的试探应变函数和多层模型的基础上,用自编程序计算了晶格应变在不同剂量和退火温度的情况下随深度的分布。
维普期刊数据库
同方期刊数据库