现场真空校准装置性能研究

作     者：习振华 李得天 成永军 张虎忠 王永军 刘珈彤 管保国 吉康 无

作者机构：兰州空间技术物理研究所兰州730000 

出 版 物：《真空科学与技术学报》 (Chinese Journal of Vacuum Science and Technology)

年 卷 期：2016年第36卷第12期

页      面：1400-1406页

学科分类：08[工学] 0804[工学-仪器科学与技术] 

主　　题：现场校准 压力衰减法 直接比较 计量特性 

摘      要：研制了一台校准范围为10^(-5)~10~5Pa的现场真空校准装置。将不同种类单一成分的校准气体引入装置上游室,通过几何尺寸为微米量级激光小孔的衰减,建立校准用标准压力p_(std)。上游室压力变化范围为1~10~3Pa,相应地,校准室内对应的标准压力范围10^(-5)~10^(-2)Pa(N2),测量不确定度为2.4%。另外,该装置可采用与标准真空计直接比较进行动态或静态校准,其极限真空度为10^(-6)Pa量级。对装置暴露大气后的抽气性能、静态压升及其主要计量特性进行了实验研究。实验结果表明,该装置外形尺寸以及质量分别为475 mm×420 mm×800 mm、37.8 kg,校准范围为1.9×10^(-5)~1.0×10~5Pa,相对合成标准不确定度为2.8%~0.40%。