双层电阻栅SOI应变计的设计及其在煤矿的应用
Design of double layer resistance gird SOI strainometer and its application in coal mine作者机构：天地科技股份有限公司开采设计事业部北京100013 复旦大学信息科学与工程学院上海200433
出 版 物：《工矿自动化》 (Journal Of Mine Automation)
年 卷 期：2016年第42卷第12期
页 面：10-14页
学科分类：081901[工学-采矿工程] 0819[工学-矿业工程] 08[工学]
基 金：国家自然科学基金青年基金项目(51304115) 中国煤炭科工集团科技创新基金重点资助项目(2013ZD002) 天地科技技术创新基金项目(KJ-2015-TDKC-02) 天地科技开采青年创新基金项目(KJ-2015-TDKC-12)
摘 要：设计了一种微熔结构的双层电阻栅SOI应变计,该应变计利用热生长氧化、光刻、刻蚀等工艺方法进行制作,解决了通常SOI应变计体电阻阻值小、易受污染的问题,提高了应变计的精度、绝缘性和工作稳定性。现场试验结果表明,利用该应变计制作的煤矿钻孔应力计测量数据准确,工作稳定可靠,适用于煤岩体应力监测。
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