退火气氛对溶胶-凝胶法制备ZnO∶Sn薄膜性能的影响

作     者：劳子轩 胡跃辉 陈义川 帅伟强 童帆 范建彬 LAO Zixuan;HU Yuehui;CHEN Yichuan;SHUAI Weiqiang;TONG Fan;FAN Jianbin

作者机构：景德镇陶瓷大学机械电子工程学院景德镇333403 

出 版 物：《中国陶瓷》 (China Ceramics)

年 卷 期：2016年第52卷第10期

页      面：12-16页

学科分类：080503[工学-材料加工工程] 08[工学] 080501[工学-材料物理与化学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 

基　　金：国家自然基金项目(61464005 51562015) 江西省青年重点基金项目(20153BCB23004) 江西省科技支撑计划资助项目(2010BGA01100) 江西省对外合作资助项目(20132BDH80025 20151BDH80031) 江西省自然基金资助项目(20143ACB21004 20151BAB202010 20151BAB212008) 江西省主要学科学术和技术带头人培养计划项目(20123BCB22002) 江西省高等学校科技落地计划(KJLD12085 KJLD14075) 江西省教育厅科技资助项目(GJJ12494 GJJ13643 GJJ13625) 景德镇市科技项目(2013-1-4 2014-2-22 2014-1-3) 

主　　题：溶胶凝胶 Sn掺杂ZnO薄膜 退火气氛 光电特性 

摘      要：采用溶胶-凝胶法以旋涂的方式在石英玻璃上制备锡掺氧化锌(ZnO∶Sn)透明导电薄膜,在不同的退火气氛下对薄膜进行热处理,以此研究退火气氛对薄膜的微观结构和光电性能的影响。通过X射线衍射仪、扫描电子显微镜、紫外-可见分光光度计和四探针测试仪等手段对薄膜样品进行分析表征,实验表明:不同气氛条件下热处理的ZnO∶Sn薄膜仍为六方纤锌矿结构并沿c轴择优生长,且在可见光范围(400~900 nm)样品的平均透过率均超过80%。其中,在氮气气氛下退火处理的薄膜电阻率减小至3.152×10^(-2)Ω·cm,在惰性气体中热处理有效提高了薄膜的光电特性。