膜厚对反冲注八改性的影响
INFLUENCE OF COATING THICKNESS ON SURFACE MODIFICATION OF METALS BY RECOIL IMPLANTATION出 版 物：《真空科学与技术学报》 (Chinese Journal of Vacuum Science and Technology)
年 卷 期：1988年第2期
页 面：91-95页
主 题：入射离子 对磨 Cr 磨痕 基体材料 反应堆材料 镀层厚度 耐磨性能 磨损性能 表面硬度 膜厚 改性
摘 要：本文依据LSS理论并考虑到反冲注入的特点,对反冲注入中入射离子的能量和镀层厚度提出如下选择原则: 1.入射离子的能量应对应于(dε/dρ)。～ε~1/~2普适曲线的极大值。2.镀层厚度应与入射离子在镀层中的投影射程大体一致。实验结巢(如表面硬度的测试,磨损试验,俄歇深度剖析)证明,上述选择原则是合理的。
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