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镜面磨角法检测硅芯片上的多层薄膜

作     者：曾庆城 罗庆芳 

作者机构：江西大学物理系 

出 版 物：《南昌大学学报(理科版)》 (Journal of Nanchang University(Natural Science))

年 卷 期：1983年第1期

页      面：81-84页

学科分类：0401[教育学-教育学] 04[教育学] 

主　　题：干涉条纹 硅芯片 镜面 磨角 干涉显微镜 多晶硅栅 厚度 

摘      要：本文介绍一种可以用来剖析大规模集成电路芯片上多层薄膜分布的“镜面磨角—干涉显微镜观测法。膜间界面比较清楚,使用国产6JA型干涉显微镜,可以拍照得到清晰的显微图象,能够以270A°的精度检测薄膜的厚度,还可以测出厚膜的平均折射率。文中给出了实验照片。

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