作 者:曾庆城 罗庆芳
作者机构:江西大学物理系
出 版 物:《南昌大学学报(理科版)》 (Journal of Nanchang University(Natural Science))
年 卷 期:1983年第1期
页 面:81-84页
学科分类:0401[教育学-教育学] 04[教育学]
主 题:干涉条纹 硅芯片 镜面 磨角 干涉显微镜 多晶硅栅 厚度
摘 要:本文介绍一种可以用来剖析大规模集成电路芯片上多层薄膜分布的“镜面磨角—干涉显微镜观测法。膜间界面比较清楚,使用国产6JA型干涉显微镜,可以拍照得到清晰的显微图象,能够以270A°的精度检测薄膜的厚度,还可以测出厚膜的平均折射率。文中给出了实验照片。