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使用计算机再现校正掩膜的反射全息扫描器

作     者:Y.Ishii K.Murata 

作者机构:日本北海道大学工程学院应用物理系 

出 版 物:《中国激光》 (Chinese Journal of Lasers)

年 卷 期:1983年第Z1期

页      面:639-639页

学科分类:081203[工学-计算机应用技术] 08[工学] 0835[工学-软件工程] 0812[工学-计算机科学与技术(可授工学、理学学位)] 

主  题:透射全息图 掩膜 计算机 扫描器 

摘      要:全息光栅扫描器在光学扫描装置中的应用的重要性在不断增加。本文描述一种全息扫描法,其中反射体积全息图记录在铬盐明胶板上,并以多边形的形式安置在一个圆筒的周围。这种扫描器以反射方式工作,便于做成紧凑的折叠型以及在布喇格条件下只有一级衍射。F是点源P与全息图平面之间的距离,圆筒的半径为r。旋转这个全息图,就会使无畸变的再现斑点沿一曲线轨迹扫描。在许多应用中都希望有一个平的扫描面。利用计算机再现全息图产生的非球面波前完成了场曲率校正工作。全息图跟平场平面间

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