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兼用冷阴极离子抽气和活性膜收气作用的50000升/秒泵结构和性能

作     者:C.F.BROTHERS ,T.TOM ,D.F.MUNRO 

出 版 物:《真空》 (Vacuum)

年 卷 期:1965年第6期

页      面:21-26页

主  题:冷阴极 离子泵 密封系统 真空泵 热丝 抽速 抽气 

摘      要:早在两年前就已开始把活性金属膜的消气作用和冷阴极多室离子泵的抽气作用联合起来工作。已进行了多方面的探讨,包括研究和实验蒸发方法,选择作用金属以及系统的几何尺寸。由于作了这些研究,开展了各种系统的设计,它对于密封系统产生的抽气速度比以往经历过的要好几个数量级。对于在50000升/秒泵的设计中使用过的这种系统的特征数据作了叙述。初步实验已证实了予测的结果。

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