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干涉显微法薄膜厚度的测量

作     者:岩相 

出 版 物:《无机材料学报》 (Journal of Inorganic Materials)

年 卷 期:1973年第2期

页      面:34-41页

学科分类:07[理学] 0702[理学-物理学] 

主  题:多光束干涉条纹 显微镜 实验设备 干涉 薄膜厚度 条纹间距 参考面 单色光源 透明介质 粒子束 光束 

摘      要:在现代光学显微技术中,能够帮助研究者们洞察所研究的材料,了解其表现于光学上的详情细节的先进工具要算是相衬显微术、干涉衬显微术,双光束干涉显微术以及多光束干涉显微术了。前两者可以使我们定性地详细了解材料本身的物相关系,后两者则定量地具体测量有关的数据,以便对材料的进一步发展提供依据。干涉显微术的测量,对于研究晶体生长

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