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微系统技术

作     者:张光照 黄鸿雁 

出 版 物:《传感器与微系统》 (Transducer and Microsystem Technologies)

年 卷 期:1992年第5期

页      面:60-61页

核心收录:

主  题:静电封接 部件 微系统 加速度计 比力计 微加工 微机械 存贮器 存储器 执行器 

摘      要:1 序言 为了介绍微系统,我们先从系统的概念入手。所谓系统,它包括两层含义,其一,系统是由部件组成的,其二,各种部件之间有特定的关系。整个系统的功能不但和各部件的功能有关,也和它们之间的关系有关。

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