利用DMP-450型真空镀膜机进行多种离子镀
STUDY OF VARIOUS METHODS OF ION-PLATING USING A REMOULDED DMP-450 EVAPORATION SYSTEM
作 者：朱庄德 章开琏 田民波 马志龙 李恒德
作者机构：清华大学
出 版 物：《真空科学与技术学报》 (Chinese Journal of Vacuum Science and Technology)
年 卷 期：1983年第3期
页 面：228-231页
主 题：真空镀膜机 DMP-450 离子镀 化学镀 膜层 电子枪 平均硬度
摘 要：本文的目的是介绍和报导作者利用DMP-450型真空镀膜机、通过改装,进行多种离子镀的研究工作。一、设备的改装DMP-450型镀膜机改装后如图1所示。
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