多层薄膜厚度测定及计算方法
作者机构：上海 200940 上海宝山钢铁总厂钢铁研究所 中国科学院上海硅酸盐研究所 上海 200050 中国科学院上海硅酸盐研究所
出 版 物：《科学通报》 (Chinese Science Bulletin)
年 卷 期：1990年第35卷第18期
页 面：1437-1438页
核心收录：
基 金：国家自然科学基金
摘 要：本文提出了应用X射线显微分析(XQMA)及Monte Carlo模拟确定多层薄膜微区厚度的理论和计算方法,为薄膜材料、大规模集成电路及超导多层薄膜的研制提供
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