微型计算机控制的电视扫描自动对准系统
Micro-computer Controlled Video Autoalignment System作者机构：清华大学精密仪器系
出 版 物：《计量学报》 (Acta Metrologica Sinica)
年 卷 期：1987年第2期
页 面：101-107页
学科分类：08[工学] 081101[工学-控制理论与控制工程] 0811[工学-控制科学与工程] 081102[工学-检测技术与自动化装置]
主 题：矩阵 硅片 掩膜 数学分析 电视扫描 自动对准 视场
摘 要：本文介绍一种新的由微型机控制的电视扫描IC硅片与掩膜图形自动对准系统,并详细叙述了所建立的去污矩阵和通过数据处理来消除工艺玷污对精度影响的方法,同时提出了失准偏差的矩阵计算公式。该系统的测量灵敏度可达0.08微米。
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