作 者:Z.L.Liau 张瑞华
出 版 物:《微纳电子技术》 (Micronanoelectronic Technology)
年 卷 期:1987年第1期
页 面:43-45页
主 题:激光器 镜面 光输出 光激射器 电子器件 GaInAsP/InP 面发射 飞行器发射
摘 要:通过单片集成45°(抛物)镜面,将激光器的光输出偏转到与衬底表面垂直的方向,研制成一种掩埋的异质结构激光器。利用质量输运现象,用化学腐蚀修平多台阶结构制作了该镜面。这些器件的阈值电流低至12mA,微分量子效率高达47%;具有一个波瓣的面发射远场图形展角窄至12°。