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在硅的无坩堝区域提純过程中关于利用湿氢除硼的几个問题

SOME PROBLEMS ON PEMOVAL OF BORON FROM SILICON BY WET HYDROGEN TREATMENT DURING ZONE REFINING WITHOUT CRUCIBLE

作     者:郭维廉 郑云光 何世存 邵景倫 W.L.Kuo, Y.K.Cheng, S.C.Ho, C.L.Shao

作者机构:天津大学无线电材料与元件教研室 天津大学 63年无綫电材料与元件专业毕业生 

出 版 物:《天津大学学报》 (Journal of Tianjin University)

年 卷 期:1964年第2期

页      面:71-76页

学科分类:0202[经济学-应用经济学] 02[经济学] 

主  题:水汽分压 硼效率 加水器 注水器 除硼 

摘      要:本文讨论了在湿氢条件下,进行硅的无坩堝区域提纯时,所遇到的几个问题。主要包括:氢气实际露点和氢气流量的关系;控制湿氢中水汽量的方法;最佳水汽量的选择和最佳湿氢提纯效率等问题。

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