在硅的无坩堝区域提純过程中关于利用湿氢除硼的几个問题
SOME PROBLEMS ON PEMOVAL OF BORON FROM SILICON BY WET HYDROGEN TREATMENT DURING ZONE REFINING WITHOUT CRUCIBLE作者机构:天津大学无线电材料与元件教研室 天津大学 63年无綫电材料与元件专业毕业生
出 版 物:《天津大学学报》 (Journal of Tianjin University)
年 卷 期:1964年第2期
页 面:71-76页
学科分类:0202[经济学-应用经济学] 02[经济学]
摘 要:本文讨论了在湿氢条件下,进行硅的无坩堝区域提纯时,所遇到的几个问题。主要包括:氢气实际露点和氢气流量的关系;控制湿氢中水汽量的方法;最佳水汽量的选择和最佳湿氢提纯效率等问题。