CDP-1半导体元件表面钝化涂膜材料的研制
作者机构:成都科技大学
出 版 物:《功能材料》 (Journal of Functional Materials)
年 卷 期:1982年第5期
页 面:56-59页
主 题:涂膜材料 聚酞亚胺 CDP-1 表面钝化 半导体元件
摘 要:一、前言高分子合成材料在电子工业中的应用已有较长历史,但随着科学技术的发展,在这一领域中使用的高分子合成材料不仅数量不断增加,品种不断扩大,而且也对这些材料提出了一些特殊的性能要求和苛刻的工艺条件。例如,要实现准确而迅速的信息和情报传送,要达到各种精确的自动控制,要制造运算高速化、记忆大容量化的电子计算机,都要求电子器件既有优异可靠的性能,又有小型轻量的结构。作为这一领域使用的高分子合成材料就必须具备