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超声调阻技术

作     者:杨周铜 

作者机构:电子工业部第十研究所 

出 版 物:《应用声学》 (Journal of Applied Acoustics)

年 卷 期:1988年第7卷第2期

页      面:39-40页

主  题:调阻 超声切削 薄膜电阻 工艺参数 阻值 超声 

摘      要:本文介绍了超声切削用于薄膜电阻调整技术(简称超声调阻技术)的特点和原理,并就超声调阻工艺参数的选择和应用范围进行了讨论。

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