从10-5托~10托差级抽气系统
作者机构:上海市纺织科学研究院
出 版 物:《真空科学与技术学报》 (Chinese Journal of Vacuum Science and Technology)
年 卷 期:1981年第5期
页 面:335-338页
摘 要:本文介绍了一种差级抽气真空系统。通过分析、实验,选择了真空过渡孔的形状和级数。采用三个真空过渡孔加上级间抽气,达到了真空度从10-5托过渡到10托的目的。
作者机构:上海市纺织科学研究院
出 版 物:《真空科学与技术学报》 (Chinese Journal of Vacuum Science and Technology)
年 卷 期:1981年第5期
页 面:335-338页
摘 要:本文介绍了一种差级抽气真空系统。通过分析、实验,选择了真空过渡孔的形状和级数。采用三个真空过渡孔加上级间抽气,达到了真空度从10-5托过渡到10托的目的。