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从10-5托~10托差级抽气系统

作     者:郭桂云 

作者机构:上海市纺织科学研究院 

出 版 物:《真空科学与技术学报》 (Chinese Journal of Vacuum Science and Technology)

年 卷 期:1981年第5期

页      面:335-338页

主  题:过渡孔 过渡段 电子枪 抽气 气体分子 

摘      要:本文介绍了一种差级抽气真空系统。通过分析、实验,选择了真空过渡孔的形状和级数。采用三个真空过渡孔加上级间抽气,达到了真空度从10-5托过渡到10托的目的。

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