近柱面中频面形检测中曲面拟合法精度问题研究
Investigation of the precision of curved surface fitting in the measurement of near-cylindrical surfaces′ mid-wavelength deformations作者机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室 中国科学院研究生院北京100039
出 版 物：《物理学报》 (Acta Physica Sinica)
年 卷 期：2005年第54卷第7期
页 面：3144-3148页
核心收录：
主 题：曲面拟合法 问题研究 精度 面形检测 中频 柱面 处理过程 波前像差 拟合阶数 RMS值 估计值 真实值 正弦
摘 要：研究了曲面拟合法对特定抛物和双曲近柱面检测中波前像差的处理过程,结果表明,对振幅为0.1λ的中频正弦型面形,由曲面拟合法得到的结果与该正弦型面形之差的RMS值分别可以达到0.015λ(8.25nm)和0.013λ(7.15nm).通过分析拟合阶数对精度的影响,确认存在一个特殊的阶数no、它使曲面拟合法的精度达到最高;讨论了估计no值的方法,得到了和no真实值完全符合的估计值,表明这些方法是行之有效的.
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