永磁镜场边引出潘宁型离子源的研制与初步应用
出 版 物：《微细加工技术》 (Microfabrication Technology)
年 卷 期：1984年第3期
页 面：21-26页
学科分类：1002[医学-临床医学] 100214[医学-肿瘤学] 10[医学]
主 题：离子源 潘宁 离子注入机 多电荷离子 磁镜 电离效率 重离子束 引出电压 小巧轻便 磁场位形
摘 要：本文介绍永磁镜场边引出潘宁型离子源的原理、结构特点、实验结果及应用。该源具有电离效率高,引出束流密度大和小巧轻便等优点,能提供总束流大于1mA的多电荷重离子束或轻离子束。其中多电荷离子比例较大。用N2和BF3等气体实验,14N+和11B+的离子比分别达到80％和60％。在离子注入机上初步应用,11B+靶流达300μA。
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