扫描电镜分析的基本原理
作者机构：上海钢铁研究所四室
出 版 物：《上海钢研》 (Shonghai Steel & Iron Research)
年 卷 期：1978年第1期
页 面：29-45页
主 题：扫描电镜 基本原理 SEM 图象 光学显微镜 原子序数 光谱仪 分光计 光学式分析仪器 入射电子 电子通道花样 背反射电子 检出器 衬度 样品室 扫描透射 电子产生 电子束流
摘 要：一、前言 扫描电镜(SCANNiNG ELECTRON MICROSCOPE简称SEM)于1932年由德国人Knoll提出,1938年Von Ardenne便制成了一台透射分辨率为500的仪器。但受到当时电子技术条件的限制,拍摄一张照片需要一小时以上的时间,因此,这种仪器在当时并没有多大实用价值。1957年英国剑桥大学的仪器采用了光电倍增管,使呈象质量大为提高,获得200—600的分辨率。其后,英、美、德、日和苏联等国的科学仪器工作者都对SEM的发展作出过贡献,使得1965年商品仪器的分辨率达到250的保证指标。现在,一般大型的SEM均能达到100的保证指标。
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