应用Auger电子能谱仪研究清除GaAs表面碳沾污的有效方法
A STUDY ON THE EFFECTIVE METHOD OF REMOVING CARBON CONTAMINATION ON GaAs SURFACES BY MEANS OF AUGER SPECTROSCOPY作者机构：福州大学物理系
出 版 物：《福州大学学报(自然科学版)》 (Journal of Fuzhou University(Natural Science Edition))
年 卷 期：1986年第2期
页 面：52-57页
摘 要：在制作ＧａＡｓ负亲和势光电阴极中。ＧａＡｓ表面碳的沾污往往严重地降低其光电产额。为了去 除ＧａＡｓ表面碳的污染，我们用Ａｕｇｅｒ电子能谱仪对采用不同化学腐蚀处理的ＧａＡｓ表面进行分析 研究，证明在ＧａＡｓ表面有意形成一氧化膜并装进超高真空系统中加热到－５８０℃，对去除ＧａＡｓ 表面碳污染非常有效。
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