咨询与建议
  • 全部检索
  • 电子图书
  • 电子期刊
  • 纸本馆藏
  • 南通市公共图书馆
高级检索

看过本文的还看了

相关文献

该作者的其他文献

文献详情 >半导体工业化学材料的物理和热力学性质——N型汽相掺杂剂(砷化... 收藏
分享

半导体工业化学材料的物理和热力学性质——N型汽相掺杂剂(砷化氢、磷化氢、锑化氢)

作     者：Carl L. Yaws 王长河 

出 版 物：《微纳电子技术》 (Micronanoelectronic Technology)

年 卷 期：1974年第10期

页      面：19-27页

主　　题：砷化氢 氢化合物 热力学性质 物理性能 锑化氢 锑化三氢 掺杂剂 汽相 半导体工业 电子工业 物理 

摘      要：本文给出了很重要的半导体工业用的N型汽相掺杂剂——砷化氢、磷化氢、锑化氢的物理和热力学性质。这些性质包括:临界常数、蒸汽压力、汽化热、热容量、密度、粘度、生成热、生成的自由能、表面张力和热导率。以一个简单的图解形式给出这些性质与温度的函数关系,因此,使用者就很容易地选取所需要的数据。

电子资源

读者评论 与其他读者分享你的观点

学校读者
用户名:未登录
我的评分