多层绝热低温容器的抽气技术
作者机构:兰州物理研究所
出 版 物:《真空科学与技术学报》 (Chinese Journal of Vacuum Science and Technology)
年 卷 期:1982年第3期
页 面:149-156页
主 题:低温容器 抽气时间 吸附剂 绝热材料 多层绝热 抽气 抽气技术
摘 要:多层绝热低温容器内的气体负荷大,允许的放气量小,除气温度低,如采用常规工艺抽气时还存在着流导小,加热效率低,水蒸汽不易排出,以及泵油蒸汽返流及吸附剂再活化困难等特殊问题,使所需要的抽气时间长达上百小时。而采用气体热冲洗和间断排气新工艺能够解决这些问题,使抽气时间缩短到几十小时。文中对新的工艺方法和作用原理及与常规工艺的根本区别作了介绍。最后指出,采用新工艺抽气的同时,增加吸气手段,提高吸气能力,会使抽气时间进一步缩短到24小时之内,甚至可不用扩散泵仅用机械泵抽气,就能降低成本,缩短排气周期,提高绝热性能,延长使用寿命。