Interox America建成超纯过氧化氢新装置
出 版 物：《化工新型材料》 (New Chemical Materials)
年 卷 期：1987年第2期
页 面：43-43页
学科分类：0202[经济学-应用经济学] 02[经济学] 020205[经济学-产业经济学]
主 题：新装置 超纯过氧化氢 Interox America
摘 要：美国Interox America公司在其得克萨斯州迪尔帕克联合工厂内,建成一套生产超纯电子级过氧化氢的新装置。超纯过氧化氢在半导体器件生产的各工序中用于清洗硅片。需测定的40种金属杂质在新产品中的总含量低于0.1ppm,而在以往的电子级过氧化氢中的含量为1ppm。新工艺是采用硼硅玻璃装置进行第二步纯化蒸馏,全部管道、设备、连接件都是用1,1-二氟乙烯聚合物制造的。最终产品贮存在高密度聚乙烯容器中,使产品自始至终不
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