LEC法GaAs中的Si与液封剂B2O3,H2O间的相互作用
INTERACTION AMONG Si IN LEC GaAs AND B2O3 AND H2O IN THE ENCAPSULANT作者机构：中国科学院上海冶金研究所 中国科学院上海冶金研究所 中国科学院上海冶金研究所 中国科学院上海硅酸盐化学与工学研究所
出 版 物：《金属学报》 (Acta Metallrugica Sinica)
年 卷 期：1985年第21卷第1期
页 面：81-85页
核心收录：
学科分类：1002[医学-临床医学] 100214[医学-肿瘤学] 10[医学]
主 题：LEC 晶体 B2O3,H2O GaAs 液封 LVM 对数坐标 熔体 电器构件 Si
摘 要：本文利用文献报道的LEC法GaAs晶体中的Si,B的红外LVM吸收光谱和SIMS分析数据,作出三条lg[Si]-lg[B]直线,其斜率分别接近于4/3,2/3,1/2.本文结合晶体生长的不同工艺条件试用熔体中Si与B2O3,H2O间的相互作用,解释斜率的差异.
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