6328高效增透膜
A High-quality Anti-reflection Coating at 6328
作 者：林永昌 卢维强 孙晓茉
出 版 物：《北京理工大学学报》 (Transactions of Beijing Institute of Technology)
年 卷 期：1985年第1期
页 面：34-45页
主 题：膜层厚度 反射率曲线 增透膜 抗反射膜 光学薄膜 内层膜 膜系 光学厚度 基板材料 厚度误差 中心波长
摘 要：本文讨论了为获得6328(?)高效增透膜,膜层折射率和厚度所允许的误差容限,以及为达到此误差容限在工艺中所采取的关键措施。
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