电容式测孔传感器方案论述
作者机构：天津大学
出 版 物：《计量技术》 (Measurement Technique)
年 卷 期：1985年第8期
页 面：17-22页
学科分类：08[工学] 081101[工学-控制理论与控制工程] 0811[工学-控制科学与工程] 081102[工学-检测技术与自动化装置]
主 题：传感器 柱面 孔径 CT 换能器 电子技术 曲面 测孔 传感器电极
摘 要：目前,随着机械加工精度的提高,对几何尺寸的检测要求也越来越高,尤其对孔径的检测更为重要。近年来用电容测微仪测量微小位移取得了相当可喜的进展,充分发挥了灵敏度高、线性好、稳定、仪器简单、操作方便等优点。在电容测微仪用于孔径测量方面,由于孔壁是柱面,而且曲率半径因孔而异,因此测孔传感器的工作原理、结构计算以及使用方式都与测量平面位移时有着很多差异,故本文就测孔几种方案的设计与计算以及误差分析作如下介绍。一、测孔传感器的工作原理 1.平面传感器C_T平的计算测孔传感器是用φ3mm平面传感器按面
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