一台无油超高真空区熔炉的改装与调试

作     者：高国儒 

作者机构：中国科学院物理研究所 

出 版 物：《物理》 (Physics)

年 卷 期：1983年第1期

页      面：44-46页

学科分类：08[工学] 

主　　题：升华泵 除气 真空度 离子泵 吸附泵 区熔 极限真空 等离子熔炼 升降机构 难熔金属 

摘      要：难熔金属由于其吸气性、共生性及熔点高等特点,很难得到高纯样品.用一般方法(比如粉末冶金法和电弧熔炼法)要想得到高纯的难熔金属是极其困难的,但是用等离子熔炼法和电子束熔炼法有可能得到纯度较高的难熔金属材料.为了获得高纯的难熔金属单晶,我们对一台原来设计和加工都存在很大问题的无油超高真空电子束区熔炉进行了改造:用钛球升华器代替原有的Ti-Mo丝升华器;抛弃了笨重、复杂、不能用的电子枪,重新设计加工了一个简单易作的电子枪;重新设计了一个电子枪升降机构,解决了原来存在的电子枪作升降运动时产生的卡死问题;重新设计加工了一个样品架,解决了样品对中及高温下的脱落问题;更换了炉壳上的一些部件,克服了系统严重的漏气现象. 区熔炉的极限真空已调到 3 XIO-‘’托.烘烤期间,在先后用吸附泵及离子泵对系统进行抽气的情况下,用电子枪对样品进行多次除气,使得熔炼直径10毫米、长约200毫米(实际区熔长度为门 毫米)银棒时的工作真空度达到10“托(最高可达2 X 10ed托).从1981年11月中旬到1982年1月初已成功地区熔出七个直径 10毫米、长 110毫米的银单晶.自己设计的电子枪聚焦很好,熔区小于5毫米,熔炼出的样品表面光滑...