能量粒子轰击金刚石的计算机模拟

作     者：李荣斌 戴永兵 胡晓君 沈荷生 何贤昶 Li Rong-Bin Dai Yong-Bing Hu Xiao-Jun Shen He-Sheng He Xian-Chang (State Key Laboratory of Metal Matrix Composite Materials, Shanghai Jiaotong Uni versity, Shanghai 200030, China)

作者机构：上海交通大学金属基复合材料国家重点实验室上海200030 

出 版 物：《物理学报》 (Acta Physica Sinica)

年 卷 期：2003年第52卷第12期

页      面：3135-3141页

核心收录：

学科分类：081704[工学-应用化学] 07[理学] 08[工学] 0817[工学-化学工程与技术] 0703[理学-化学] 070301[理学-无机化学] 0702[理学-物理学] 

基　　金：国家自然科学基金 (批准号 :5 0 0 82 0 0 5 )资助的课题~~ 

主　　题：Tersoff势 分子动力学 粒子轰击 金刚石 硼粒子 粒子注入 原子弛豫 分裂间隙 掺杂 

摘      要：利用Tersoff势和分子动力学方法研究了初始动能为 5 0 0eV的硼粒子注入金刚石的微观行为 .结果表明 :硼注入后产生温度为 5 0 0 0K的热峰 ,其寿命为 0 18ps;同时产生半径为 0 4 5nm局部非晶化区域 ,三重配位原子数占该区域原子数的 7% .薄膜表层原子向内弛豫 ,近表层原子向外弛豫 ,表面层与近表层原子的间距减少了15 % ,表面层表现为压应力 .硼原子以B 分裂间隙的形式存在于金刚石结构中 .