一个快速蒸发低温凝聚镀膜装置
A LOW TEMPERATURE CONDENSATION APPARATUS WITH QUICK VAPOUR
作 者：彭先会
作者机构：中国科学院等离子体物理研究所 合肥
出 版 物：《低温物理学报》 (Low Temperature Physical Letters)
年 卷 期：1982年第4期
页 面：335-336页
主 题：镀膜装置 蒸发源 杜瓦瓶 低温容器 真空室 低压室 快速蒸发 液池 低温
摘 要：本文叙述了一个快速蒸发低温凝聚镀膜装置在结构上的特点和调试结果
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