利用选择性抽气原理校准微漏率标准漏孔
CALIBRATION OF STANDARD LEAKS OF MICROLEAK RATE USING SELECTIVE GETTERING PRINCIPLE作者机构：华南工学院
出 版 物：《真空科学与技术学报》 (Chinese Journal of Vacuum Science and Technology)
年 卷 期：1983年第1期
页 面：23-27页
摘 要：本文描述微漏率标准漏孔校准装置,装有选择性吸气泵——水冷钛升华泵;用定容升压法测量。加钛泵后系统内的大部份活性气体被消除,出气率降到小于10-10托·升/秒。在测微漏率时,曾对电离规的出气及其三种工作状态(①连续工作;②保持灯丝恒温,间歇加栅压;③间歇点燃灯丝)做了研究和讨论。并对电离规对不同气体的灵敏度做了测量。对渗氦率10-8～10-9托·升/秒数量级的箔壁玻璃漏孔进行校准。其结果表明,精度均在±5％以内。
同方期刊数据库