调相激光干涉仪测量吸收薄膜参数的研究
Measurement of parameters of absorbing thin film with phase-modulation laser interferometer作者机构：清华大学
出 版 物：《中国激光》 (Chinese Journal of Lasers)
年 卷 期：1985年第3期
页 面：177-182页
主 题：激光干涉仪 修正因子 光学干涉仪 象限 自校准 取值范围 实验检验 相位差 吸收膜 光学薄膜 调相 相位调制 指数调制
摘 要：本文介绍了调相激光干涉仪测量薄膜n,k,d的工作原理,探讨了单层吸收膜的测量参量P、Q、△与n,k,d的关系;相位差△的取值;测量参量的自校准以及P、Q和修正因子F的实验检验问题,给出了数据处理方法和程序框图.本文还对三种薄膜样品(一种弱吸收膜,两种强吸收膜)的n、k、d进行了测量和计算,并将其结果与椭圆偏振仪的测定结果进行了比较.
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