离子注入对水晶的影响
出 版 物：《人工晶体学报》 (Journal of Synthetic Crystals)
年 卷 期：1984年第2期
页 面：162-166页
主 题：二氧化硅 非晶态层 离子注入 离子掺杂 晶态 石英基片 水晶 石英 玻璃态 琉态 非晶态 声表面波
摘 要：用离子轰击了石英基片,其中最常注入的是1OOKeV 下的轻的氦离子。用各种方法鉴定了石英晶体物理性质的注入诱发变化。所有实验结果都表明大剂量的离子轰击可得到结晶态向非晶质的转变,受扰层的特性接近玻璃态二氧化硅的性质。研究了不同注入条件下离子注入的效果并测定了热处理的影响。此外,报导了声表面波速度的注入诱发变动、传播损耗和延迟温度系数。讨论了注入技术在弹性波装置上的应用。
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