作 者:T.Honda 陈一管
出 版 物:《中国检验检测》 (China Inspection Body & Laboratory)
年 卷 期:1984年第5期
页 面:25-26页
主 题:粗度 Vb 干涉条纹 反射镜 反光镜
摘 要:一、前言为测量一个物体的表面轮廓,通常采用可见光或莫尔条纹干涉测量法,但这种方法的可测范围有限制,前一种方法在10个波长的可测区域内具有高灵敏度,仅仅适用于反射镜表面,而后一种方法在 mm~cm 的可测区域内灵敏度仅为万分之一量级,精密测量几乎不可能。所以,在工业上用这两种方法测量的物件将受到限制。为此要求有一种方法其灵敏度和