短波长X射线衍射检测晶体材料内部缺陷的边界阈值法

作     者：牟建雷 张津 高振桓 郑林 何长光 MU Jian-lei;ZHANG Jin;GAO Zheng-huan;ZHENG Lin;HE Chang-guang

作者机构：北京科技大学北京市腐蚀磨蚀及表面技术重点实验室北京100083 西南技术工程研究所重庆400039 

出 版 物：《光谱学与光谱分析》 (Spectroscopy and Spectral Analysis)

年 卷 期：2011年第31卷第6期

页      面：1712-1716页

核心收录：

学科分类：081704[工学-应用化学] 07[理学] 08[工学] 0817[工学-化学工程与技术] 0804[工学-仪器科学与技术] 070302[理学-分析化学] 0703[理学-化学] 0702[理学-物理学] 

基　　金：国家高技术研究发展计划(863计划)项目(2009AA03Z539)资助 

主　　题：短波长X射线 衍射层析成像 阈值法 内部缺陷 晶体材料 

摘      要：在普通X射线源上进行X射线衍射断层扫描成像检测晶体材料内部缺陷的研究极少,短波长X射线衍射仪(short wavelength X-ray diffractometer,SWXRD)相比同步辐射装置,体积小巧、实用和维护费用低。在SWXRD上进行X射线衍射断层扫描时,缺陷边界的确定直接影响成像的质量和缺陷的辨别。采用衍射强度阈值法对测试数据进行处理,使得缺陷边界清晰可辨。运用Gauss函数拟合测试数据探索各种因素对阈值大小的影响,解决阈值设定的难题。通过研究置于铝粉中的不同直径像质计对阈值大小的影响,发现阈值为基体强度的91%较合适。然后测试铝板上的细缝进一步验证了阈值法对缺陷边界的改善和阈值选择的准确性。