基于MUMPS的MEMS集成设计方法研究
Research on MEMS Integrated Design Method Based on MUMPs作者机构：江苏大学机械工程学院微纳米中心江苏镇江212013
出 版 物：《制造技术与机床》 (Manufacturing Technology & Machine Tool)
年 卷 期：2006年第4期
页 面：49-51页
学科分类：080805[工学-电工理论与新技术] 13[艺术学] 0808[工学-电气工程] 08[工学] 1305[艺术学-设计学（可授艺术学、工学学位）] 080202[工学-机械电子工程] 080203[工学-机械设计及理论] 080401[工学-精密仪器及机械] 081304[工学-建筑技术科学] 0804[工学-仪器科学与技术] 0802[工学-机械工程] 0813[工学-建筑学] 0811[工学-控制科学与工程] 080201[工学-机械制造及其自动化]
摘 要：基于MUMPS(Multi-User MEMS Processes多用户三层多晶硅表面微加工工艺流程)表面微加工工艺,根据其工艺特征,建立工艺层库。利用Pro/PROGRAM,编写自动装配工艺层模型程序,通过自主开发的软件,将工艺层模型直接导入到MEMS版图器中,从而实现三维模型到二维版图的自动转换。
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