基于二维微动平台的驱动电源设计
Development of a driving power based on two dimensional micropositioning platform作者机构：机械制造工艺研究所绵阳621900
出 版 物：《仪器仪表学报》 (Chinese Journal of Scientific Instrument)
年 卷 期：2006年第27卷第Z3期
页 面：2623-2624页
核心收录：
学科分类：08[工学] 080401[工学-精密仪器及机械] 0804[工学-仪器科学与技术] 081102[工学-检测技术与自动化装置] 0811[工学-控制科学与工程]
摘 要：压电陶瓷驱动器在电场作用下将产生迟滞和蠕变,从而降低其定位精度,采用电荷控制可以减小位移迟滞和蠕变。本文简要介绍了二维微动平台的总体设计,根据系统的特点及要求,设计了电荷反馈式驱动电源。
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