埋氧层内应力对微悬臂梁加工断裂的影响机理研究

作     者：仲仁 赵钢 陈建锋 刘光丽 刘杰 褚家如 ZHONG Ren;ZHAO Gang;CHEN Jianfeng;LIU Guangli;LIU Jie;CHU Jiaru

作者机构：中国科学技术大学精密机械与精密仪器系安徽合肥230027 

出 版 物：《新技术新工艺》 (New Technology & New Process)

年 卷 期：2016年第9期

页      面：35-40页

学科分类：080202[工学-机械电子工程] 08[工学] 0802[工学-机械工程] 

基　　金：国家自然科学基金资助项目(51205375) 

主　　题：MEMS 微悬臂梁 埋氧层内应力 微纳加工工艺 ANSYS仿真 

摘      要：研究了在Smart-cut方法下制作的SOI硅片中热应力产生的来源,以及热应力的分布、数值和范围。对微悬臂梁制作过程的几个阶段进行了建模,通过仿真,探讨了不同热应力对微悬臂梁制作过程产生的影响,并在ANSYS软件中对优化的加工工艺可行性的仿真和制作时断裂现象进行了验证。研究了SOI中埋氧层内应力影响微纳加工工艺的机理,特别针对内应力使微悬臂梁制备产率下降的副作用进行了分析。研究结果在基于SOI制造的微传感器领域中具有重要的作用。