NaCl基片上制备BiFeO_3模板膜工艺参数探讨
Process Parameters of BiFeO_3 Template Films Deposited on NaCl Crystal作者机构:山东建筑大学山东济南250101 山东女子学院山东济南250300
出 版 物:《稀有金属材料与工程》 (Rare Metal Materials and Engineering)
年 卷 期:2015年第44卷第S1期
页 面:1-4页
核心收录:
学科分类:080706[工学-化工过程机械] 08[工学] 0807[工学-动力工程及工程热物理]
基 金:国家自然科学基金(50872075 51272142)
摘 要:BiFeO_3(BFO)作为一种理想的无铅多铁材料,因其优异的铁电、压电以及铁磁性能,有望在未来的微机电系统中替代Pb(Zr,Ti)O_3而得到广泛的应用。采用溶胶-凝胶法,层层退火工艺,在可溶性NaCl基片上制备出无杂相且结晶较好的BFO模板膜。并对制备BFO模板膜的最佳工艺参数进行了深入探讨:当前躯体溶液浓度为0.3 mol/L,匀胶速度为4000 r/min,退火温度为500℃时,所制备的BFO模板膜无杂相,晶粒大小均匀致密呈球状,平均晶粒尺寸约为40 nm,模板膜厚度为80μm左右。