电子级多晶硅产品在还原过程中的影响因素
Influencing Factors of Electronic Grade Polysilicon in Reduction Process作者机构：青海黄河水电新能源分公司青海西宁810006
出 版 物：《广州化工》 (GuangZhou Chemical Industry)
年 卷 期：2016年第44卷第16期
页 面：181-182页
学科分类：08[工学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）]
摘 要：近些年来,我国的电子信息技术产业发展快速,尤其是高科技领域对于电子级高纯多晶硅的需求量有所增长,多晶硅材料已成为电子信息、电力产业和太阳能光伏产业最主要、最基础的功能性材料,本文主要介绍了电子级多晶硅在还原炉内的沉积过程受到反应温度、反应配比、气体流速、炉内压力、原料纯度等许多因素的影响,同时介绍了其与多晶硅的沉积质量和电耗之间的关系。
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