SOI基PLC型阵列波导光栅与可调光衰减器单片集成

作     者：袁配 吴远大 王玥 安俊明 胡雄伟 YUAN Pei;WU Yuanda;WANG Yue;AN Junming;HU Xiongwei

作者机构：河南仕佳光子科技有限公司河南鹤壁458030 中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点实验室北京100083 

出 版 物：《半导体光电》 (Semiconductor Optoelectronics)

年 卷 期：2016年第37卷第4期

页      面：477-481页

学科分类：070207[理学-光学] 07[理学] 0702[理学-物理学] 

基　　金：国家"863"计划项目(2013AA031402) 

主　　题：阵列波导光栅 可调光衰减器 波分复用 绝缘体上硅 平面光波回路 

摘      要：制作了基于绝缘体上硅（Silicon on Insulator，SOI）材料的8×16通道的阵列波导光栅（Arrayed Waveguide Grating，AWG）与电吸收型可调光衰减器（Variable Optical Attenuator，VOA）的单片集成器件，其信道间隔为200GHz。该集成器件采用脊形波导结构，其截面尺寸为亚微米级，整体尺寸为2．9mm×1mm。该VMUX器件的片上损耗为9．324～10．048dB，串扰为6．5～8．2dB；在20dB衰减下，单通道最大功耗为87．98mW；最大信道偏振相关损耗（Polarization Dependent Loss，PDL）为0．461dB，16通道的衰减一致性为0．245dB。该器件能够实现良好的波分复用／解复用及信道功率均衡的功能。