杂化CuPc有机半导体的气敏特性研究

作     者：李月 施云波 殷景华 杨培滋 LI Yue;SHI Yun-bo;YIN Jing-hua;YANG Pei-zi

作者机构：哈尔滨理工大学应用科学学院黑龙江哈尔滨150080 

出 版 物：《哈尔滨理工大学学报》 (Journal of Harbin University of Science and Technology)

年 卷 期：2006年第11卷第2期

页      面：43-46页

学科分类：081704[工学-应用化学] 07[理学] 070304[理学-物理化学(含∶化学物理)] 08[工学] 0817[工学-化学工程与技术] 0703[理学-化学] 

基　　金：国家自然科学基金资助项目(60272002) 黑龙江省科技攻关项目(GC03A121) 

主　　题：杂化CuPc 又指电极 灵敏度 敏感膜 

摘      要：采用“模板法,在N2气保护下,合成CuPc基体材料.通过共溶技术对其杂化,得到具有较理想电导率的气敏材料.应用微精细加工工艺制备具有平面叉指电极结构的气体传感器的基片,利用真空镀膜方法在平面叉指电极基片上形成敏感膜.通过扫描电子显微(SEM)形貌分析表明,薄膜颗粒尺寸均匀.静态测试法考核传感器性能表明,传感器具有较好的响应恢复性,灵敏度和热稳定特性,对C l2、NO2、H2S等有毒气体选择性好、响应灵敏.