低电压驱动微机械1×8光开关的动态分析
Dynamic Analysis of Low Voltage Micro-machining Based 1×8 Optical Switch作者机构：浙江大学光及电磁波研究中心光电信息工程学系现代光学仪器国家重点实验室浙江杭州310027
出 版 物：《光电子．激光》 (Journal of Optoelectronics·Laser)
年 卷 期：2004年第15卷第1期
页 面：41-44页
核心收录：
学科分类：0808[工学-电气工程] 070207[理学-光学] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 07[理学] 08[工学] 0803[工学-光学工程] 0702[理学-物理学]
主 题：微光电子机械系统 MOEMS 光开关 电火花加工 EDM 光纤通信 开关时间 工作原理 性能测试
摘 要：研制了一种小体积、低成本及可扩展的低电压1×8微机械电子系统(MEMS)光开关。由5V电压驱动电磁机构动作,带动微反射镜绕直径100μm转轴转动,实现开关的状态切换。开关时间2ms,插入损耗0.8dB,具有断电自锁功能。器件制作采用微细电火花加工(EDM)技术。应用有限元方法进行了器件开关时间的理论分析,器件的结构优化设计,并与实测结果进行了比较。
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