热处理工艺过程对CSBT/LNO薄膜性能的影响
Effect of Heating Process on Ferroelectric Properties of CSBT/LNO Thin Films出 版 物:《稀有金属材料与工程》 (Rare Metal Materials and Engineering)
年 卷 期:2013年第S1期
页 面:10-12页
核心收录:
学科分类:07[理学] 070205[理学-凝聚态物理] 08[工学] 080501[工学-材料物理与化学] 0805[工学-材料科学与工程(可授工学、理学学位)] 0702[理学-物理学]
基 金:国家自然科学基金资助(50872075 51272142)
主 题:热处理温度 CSBT/LNO薄膜 铁电性能
摘 要:探讨了匀胶速度、热分解温度及退火温度对CSBT/LNO薄膜取向和性能的影响。结果表明:制备(200)衍射峰择优的CSBT/LNO薄膜的最佳热处理工艺条件为:匀胶速度4000r/min,热分解温度400℃,退火温度为725℃;薄膜样品呈现a轴择优取向,I(200)/I(119)=1.26;样品铁电性能优良,剩余极化强度2Pr=36.7μC/cm2,对应的矫顽电场2Ec=156kV/cm;相对介电常数εr=215,具有较好的频率稳定性。