光机系统的一体化仿真分析

作     者：肖阳 徐文东 赵成强 Xiao Yang;Xu Wendong;Zhao Chengqiang

作者机构：中国科学院上海光学精密机械研究所上海201800 中国科学院大学北京100049 

出 版 物：《光学学报》 (Acta Optica Sinica)

年 卷 期：2016年第36卷第7期

页      面：239-246页

核心收录：

学科分类：08[工学] 0803[工学-光学工程] 

基　　金：国家自然科学基金青年科学基金(61501435) 

主　　题：光学设计 热变形 刚体位移 Zernike拟合 动态数据交换 光学畸变 

摘      要：建立了光机一体化仿真方法,从而实现对光学系统的性能评估.利用Ansys有限元软件进行热-结构仿真,将得到的数据文件进行刚体位移分离时采用新的评价函数,通过设置位移参量和随机值验证计算精度达到0.3%.运用Householder算法做Zernike拟合,将拟合系数作为与ZEMAX进行通信的数据接口,并采用动态数据交换技术实现Matlab与Zemax的数据交换.在此基础上给出一个角度检测物镜仿真的实例,得到了光学畸变随温度变化的曲线,说明为达到1″的测量精度,需保证工作温度范围为14~26℃.