声表面波直线型电机小型化的研究
Research of Minitype Surface Acoustic Wave Linear Motor作者机构：中国科技大学精密机械与精密仪器系邮政编码合肥230026
出 版 物：《机械制造》 (Machinery)
年 卷 期：2004年第42卷第3期
页 面：42-44页
学科分类：080801[工学-电机与电器] 0808[工学-电气工程] 08[工学]
主 题：机电耦合系数 压电材料 声表面波 直线电机 微机电系统
摘 要：随着微机电系统(MEMS)和声表面波技术的不断发展,设计和制造小型(微型)声表面波直线型电机成为必然的趋势。文章介绍了一种以铌酸锂/石英/硅层状结构作为压电基片,可以加工出体积足够小、理论上行程不受限制、实现二维运动的新样式电机。
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