用于超薄反射镜热成形的Pt、Pt/Cr分离膜

作     者：杨鑫燕 王新 伊圣振 穆宝忠 YANG Xin-yan;WANG Xin;YI Sheng-zhen;MU Bao-zhong

作者机构：同济大学物理科学与工程学院先进微结构材料教育部重点实验室上海200092 

出 版 物：《光子学报》 (Acta Photonica Sinica)

年 卷 期：2015年第44卷第6期

页      面：52-56页

核心收录：

学科分类：070207[理学-光学] 07[理学] 08[工学] 0803[工学-光学工程] 0702[理学-物理学] 

基　　金：中科院空间科学战略性先导科技专项(No.XDA04060605) 中央高校基本科研业务费专项资金(No.2013KJ047) 国家自然科学基金(No.11105098)资助 

主　　题：反射镜基底 热成形 分离膜 表面粗糙度 X射线望远镜 

摘      要：针对热弯玻璃成形法制备高精度超薄反射镜时Pt分离膜造成的镜片污染问题,研究了Pt/Cr分离膜中不同Cr层厚度对热成形超薄反射镜玻璃基底表面粗糙度的影响.采用厚度为0.3 mm的Schott D263玻璃作为超薄反射镜基底材料,选取Pt、Pt/Cr作为模具和D263镜片之间的分离层材料进行实验.Pt薄膜的厚度为50nm,Cr层厚度分别为5nm、3.5nm、2.5nm、1.5nm,热成形实验采用直接复制方式.实验结果表明:Cr层厚度为1.5nm时,成形后模具表面分离膜未发生脱落,镜片表面粗糙度约为0.5nm,与D263镜片初始值接近,能够满足高能X射线望远镜对反射镜基底表面粗糙度的要求.